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大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
多种通讯方式及电源供给
Horiba质量流量控制器SEC-N100系列
n数字式/模拟式通信
lRS-485/DeviceNet/Profibus/模拟式（电流/电压）
l可与其它系列产品兼容
n复合气体/复合量程
l可以方便的在客户端更改对应气体和量程
n高精度控制：±1.0%设定流量.
l选用与SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
n快速响应：在可控流量范围内,响应时间≦1sec
l内置PID参数，可以调整响应时间
n气阀种类
l电磁阀(~50SLM)
l压电陶瓷阀(100/200SLM)
n密封圈材质：橡胶或金属
n气路表面：未经抛光处理
n接口：仅有VCR接口
nRoHS要求：满足RoHS要求
高精度：±1.0%S.P.(*1)
1秒内快速响应(*1)
多气体，多量程解决方案
(*1)包括SEC-N17XR
更多：SEC-N112
http://www.ome-dwyer.com/Products-37791398.html
https://www.chem17.com/st345452/product_37791398.html